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半导体器件及半导体器件的制造方法技术
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文档序号:15693054
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本申请公开了半导体器件及半导体器件的制造方法,该半导体器件包括设置在n+型碳化硅基板的第一表面上的n‑型层,设置在所述n‑型层上且彼此隔开的第一沟槽和第二沟槽,包围所述第一沟槽的侧面和拐角的p型区域,设置在所述p型区域和所述第一沟槽和所述第...
该专利属于现代自动车株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过现代自动车株式会社授权不得商用。
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