下载一种低关断损耗双槽栅SOI‑LIGBT器件结构的技术资料

文档序号:15693048

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本发明提供一种低关断损耗双槽栅SOI‑LIGBT器件结构,包括P型衬底、埋氧层二氧化硅、N型漂移区、P型阱区、N‑buffer层、氧化层、两个N型源端及之间的P型接触区、N型阳极区;源端和P型阱区间的沟道两侧是栅氧层,栅氧层旁边是多晶硅,多...
该专利属于电子科技大学;电子科技大学广东电子信息工程研究院所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学;电子科技大学广东电子信息工程研究院授权不得商用。

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