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存储器件的形成方法技术
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文档序号:15692994
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一种存储器件的形成方法,包括:提供底层基底,所述底层基底上具有控制电路;在控制电路上形成顶层基底,在形成顶层基底的过程中采用原位掺杂工艺在所述顶层基底中掺杂导电离子,所述顶层基底具有预设优化厚度,顶层基底包括第一衬底和位于第一衬底上的第二衬...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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