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三维存储器及其形成方法技术
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文档序号:15692990
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一种三维存储器及其形成方法,其中,三维存储器包括:衬底,所述衬底包括相邻的器件区和连接区;位于所述器件区和连接区衬底上的多个分立的叠层结构,所述叠层结构包括多层重叠的栅极;位于相邻叠层结构之间的器件区衬底上的隔离层;位于所述连接区衬底上的连...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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