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凸块结构与其制作方法技术
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文档序号:15692946
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本发明提供一种凸块结构与其制作方法。凸块结构包括凸块本体以及多个孔隙。孔隙分布于凸块本体中,其中孔隙的直径介于0.05微米至1微米之间,且凸块本体与孔隙间的孔隙度介于25%至75%之间。凸块结构的制作方法,包括下列步骤:将多个气泡掺杂于电镀...
该专利属于南茂科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南茂科技股份有限公司授权不得商用。
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