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本发明涉及一种氮化镓功率三极管的制作方法，包括：在衬底上表面生长氮化镓层、铝镓氮层，对铝镓氮层、部分氮化镓层进行蚀刻分隔成多个岛；沉淀第一、第二金属层，第一金属层形成多个第一、第二电极单元，第二金属层形成第三电极单元，第一电极单元的第一金属...
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