下载承载装置及离子注入设备的技术资料

文档序号:15692826

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本发明提供了一种承载装置及离子注入设备,所述承载装置包括:用于承托基板的承托台;以及,用于支撑基板的多个支撑部件,各支撑部件以可移动地方式设置在所述承托台上,以使各支撑部件在基板上的支撑位置可调节。本发明提供的承载装置及离子注入设备,能够减...
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