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现有的离子源离子引出系统，如射频源中的屏极、加速极、抑制极三层栅孔板，沿轴向间隔排列，栅孔板通常做成凸曲面形状以获得希望的空间扩散形离子束流，通常几层栅孔板上的开孔位置是相同和均布的，不同栅孔板上开的孔一一对应，当栅孔板沿轴向分开放置后，外...
该专利属于上海伟钊光学科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海伟钊光学科技股份有限公司授权不得商用。

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