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一种基板、用于基板定位的对位标记以及对位方法技术
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下载一种基板、用于基板定位的对位标记以及对位方法的技术资料
文档序号:15692434
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本发明公一种用于基板定位的对位标记,包括第一对位单元,第一对位单元为由待定位点向两侧延伸的长条状结构;长条状结构长边所在的方向为第一方向,与第一方向垂直的为第二方向;在长条状结构上沿第二方向上设置有第二对位单元,第二对位单元包括多个第二对位...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。
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