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提供了抗反射硬掩模组合物。所述硬掩模组合物含有有机溶剂、引发剂、和由式Ａ、式Ｂ或式Ｃ表示的至少一种聚合物，这些在说明书中有描述。...
该专利属于第一毛织株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过第一毛织株式会社授权不得商用。

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