下载实现超宽带激发表面等离子体波导模式的蝴蝶结形天线的技术资料

文档序号:15689668

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本发明涉及一种实现超宽带激发表面等离子体波导模式的天线结构,包括上下结构的二氧化硅基底层和银层,银层通过磁控溅射镀膜机沉积在低折射率的二氧化硅表面,银层为一拍子形状,拍面为一矩形,手柄为等宽带状,形成一个带状的条形波导;用聚焦离子束刻蚀出两...
该专利属于上海理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海理工大学授权不得商用。

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