下载一种基于单读数头的圆光栅安装误差标定与修正方法的技术资料

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本发明涉及一种基于单读数头的圆光栅安装误差标定与修正方法,涉及精密机械领域。解决传统精密角度量测量无法同时达到低成本、高精度、高可靠性、高温度适应性的问题。本发明的方法用千分表保证圆光栅安装位移量误差(包括偏心量、径跳、端跳)在10μm以内...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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