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一种基于MEMS工艺的柔性可穿戴温差能量收集器件制造技术
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下载一种基于MEMS工艺的柔性可穿戴温差能量收集器件的技术资料
文档序号:15683706
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本实用新型公开了一种基于MEMS工艺的柔性可穿戴温差能量收集器件。该器件结构从下而上依次是下柔性材料基底层、两种不同材料的相关热电臂、热电臂导电连接线、上下柔性材料PDMS(聚二甲基硅氧烷)连接柱、上柔性静电纺丝层和石墨烯导热层。采用PDM...
该专利属于广州首诺科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州首诺科技有限公司授权不得商用。
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