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一种α相微孔氧化铝陶瓷的制备方法技术
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文档序号:15679231
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一种α相微孔氧化铝陶瓷的制备方法,氧化铝80~100%,氮化硼粉0~20%,混合均匀。将混合粉料装入石墨坩埚内。将装有粉料的石墨坩埚装入中频感应烧结炉中,在坩埚顶部盖上石墨纸盖和石墨毡。炉内抽真空至炉内压力小于10...
该专利属于西安明科微电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安明科微电子材料有限公司授权不得商用。
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