下载一种纳米电极阵列及其制备方法的技术资料

文档序号:15677892

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本发明提供了一种纳米电极阵列,该纳米电极阵列包括其上均匀垂直设置等高硅尖阵列2的硅片衬底1,设置硅尖阵列2一侧的硅片衬底1的表面和硅尖阵列2表面包覆金属薄膜层3,位于硅尖阵列2峰顶的金属薄膜层3设有纳米颗粒4。该本发明中的纳米电极阵列,体积...
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