温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种晶圆片的抛光夹具，包括呈圆盘状的盘体，其特征在于，所述盘体边沿处具有若干均布的齿牙，所述盘体中心具有定位孔，所述盘体上还具有贯穿的且用于放置晶圆片的抛光孔，所述抛光孔的数量至少为两个，相邻两抛光孔之间的盘体上还具有贯穿的...
该专利属于浙江蓝特光学股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江蓝特光学股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。