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本发明涉及一种微尘检测机构，在一机体上设有一光学影像模块，且机体上设有一可供承载待检的光罩的载台模块，该载台模块位于光学影像模块下方、且可相对线性位移，本发明的特色在于机体于光学影像模块周缘设有至少二个相对等距、且等角的光源模块，所述的这些...
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