下载大口径复杂曲面光学参数精确测试和标定装置及方法的技术资料

文档序号:15634961

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本发明公开了大口径复杂曲面光学参数精确测试和标定装置,该装置针对待测复杂曲面进行测试和标定;该装置采用测试标定模块获取激光干涉仪检测得到的复杂曲面的面形,并发出控制信号给激光干涉仪、补偿元件以及待测复杂曲面的调整机构,控制调整机构对三者的相...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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