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本发明公开了一种PECVD双面沉积设备，包括上料区、加热腔、工艺腔、降温区和下料区，所述上料区、加热腔、工艺腔、降温区和下料区依次连接；所述工艺腔设有上通气板和下通气板，以及与上通气板和下通气板连通的气源装置；所述上通气板和下通气板皆设有通...
该专利属于广东爱康太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东爱康太阳能科技有限公司授权不得商用。

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