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本发明涉及一种用于非制冷红外探测器的氧化钒复合薄膜及其制备方法，制备方法包括步骤：在基片的表面制备一层绝缘层；采用直流磁控溅射法，在绝缘层上制备一层氧化钒薄膜；将氧化钒薄膜在氮气气氛下进行退火处理，退火处理过程中对氧化钒薄膜施加偏置功率；采...
该专利属于中科微机电技术（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科微机电技术（北京）有限公司授权不得商用。

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