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卧式石墨烯卷对卷连续生长设备制造技术
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文档序号:15623400
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本发明公开了一种能够提高生产效率,降低能耗,保证产品品质的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备。该卧式石墨烯卷对卷连续生长设备,包括真空上料室、高温工艺腔室、真空取料室、驱动装置;所述真空上料室和真空取料室均设置有真空泵;所述高温工艺腔室上设置有快...
该专利属于重庆墨希科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆墨希科技有限公司授权不得商用。
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