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本发明公开了一种下电极和反应腔室，下电极包括静电卡盘和设置于静电卡盘下方的下电极接口盘，下电极接口盘用于安装与静电卡盘连接的元件接口，下电极接口盘包括下电极接口盘本体、下电极接口盘上设置的容纳部，下电极接口盘还包括与下电极接口盘的介电常数不...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。