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本实用新型公开了一种DMD结构XY多轴可移动光路直写曝光机，属于直写曝光技术领域。本实用新型的DMD结构XY多轴可移动光路直写曝光机，主要对真空吸盘结构进行了改进，有效解决了生产小板时由于漏气而造成的吸力不足的问题。进一步地，吸盘上的气孔分...
该专利属于江苏影速光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏影速光电技术有限公司授权不得商用。

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