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本实用新型涉及一种提高碳化硅单晶生长过程中温度测量准确性的装置，包括：带气孔的圆环形管路、进气管法兰、玻璃视窗、测温孔和红外测温仪，其中所述圆环形管路两端各连一支进气管，所述进气管一端连接圆环形管路，另一端贯穿法兰，与外部的进气管路相连，保...
该专利属于河北同光晶体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北同光晶体有限公司授权不得商用。

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