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本实用新型公开了一种PECVD设备用底座，适用于包含针杆和针端的顶针，所述底座为一体式铝制底座，所述底座开有容所述针杆穿过的通孔，所述底座还开有连通所述通孔顶部并容纳所述针端的凹槽。本实用新型保证生产过程中不会产生氧化生锈。...
该专利属于上海鸿辉光通科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海鸿辉光通科技股份有限公司授权不得商用。

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