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一种微机械结构(20)，具有：框架(2)，其在内部限定了窗(5)并且通过第一弹性元件(6)被弹性地连接到相对于基底(8)被固定的锚固结构(7)；致动结构(10)，可操作地耦合到框架(2)以用于生成第一致动移动；移动质量(4)，被布置在窗(5...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。

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