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本实用新型公开了一种芯片光刻机的光刻版取料装置，包括支座，所述支座上安装有第一吸板和第二吸板，第一吸板和第二吸板的滑动方向相同，支座上设置有分别与第一吸板和第二吸板连接的同步开合机构，第一吸板和第二吸板上均设置有负压抽吸口，该负压抽吸口与负...
该专利属于张家港晋宇达电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过张家港晋宇达电子科技有限公司授权不得商用。

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