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本发明提供一种溅射靶材的表面处理方法，所述方法包括：提供溅射靶材，所述溅射靶材已完成粗加工及半精加工，所述靶材的材料为纯铝或铝合金；采用车削工艺对所述溅射靶材进行精加工，并采用无水酒精作为所述精加工的切削液以起到润滑和冷却的作用。无水酒精易...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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