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本发明公开了一种基于碳纳米管生长技术的气体传感器的制造方法,所述气体传感器包括绝缘基体、绝缘层、阴阳微电极阵列、阴阳电极焊接区和若干碳纳米管;绝缘层设置在绝缘基体上,阴阳微电极阵列和阴阳电极焊接区设置在绝缘层上,阴阳微电极阵列分别与阴阳电极...该专利属于盐城工学院;无锡芯望传感科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过盐城工学院;无锡芯望传感科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种基于碳纳米管生长技术的气体传感器的制造方法,所述气体传感器包括绝缘基体、绝缘层、阴阳微电极阵列、阴阳电极焊接区和若干碳纳米管;绝缘层设置在绝缘基体上,阴阳微电极阵列和阴阳电极焊接区设置在绝缘层上,阴阳微电极阵列分别与阴阳电极...