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源极/漏极至氮化镓晶体管中的2D电子气的低接触电阻再生长制造技术
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文档序号:15530271
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本说明书涉及包括至少一个源极/漏极结构的氮化镓晶体管,该源极/漏极结构具有在氮化镓晶体管的2D电子气与源极/漏极结构之间的低接触电阻。低接触电阻可以是源极/漏极结构的至少一部分作为邻接2D电子气的单晶结构的结果。在一个实施例中,单晶结构与用...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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