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静电卡盘（ESC）展现具有平面电极的陶瓷主体，平面电极被应用为底部电极和顶部电极，底部电极和顶部电极通过穿过陶瓷主体和所述陶瓷主体的顶部上的导电层的通孔而连接。导电电流路径布置在ESC的边缘周围，从而充当在被布置于所述导电顶部层上时连接RF...
该专利属于瑞士艾发科技所有，仅供学习研究参考，未经过瑞士艾发科技授权不得商用。

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