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本发明涉及一种移动型等离子装置，尤其是可产生等离子的等离子发生部可以移动，使基板织构化（Texturing）的移动型等离子装置。本发明的移动型等离子装置包括：上面配置有基板的托盘(tray)；发生等离子，喷向配置有所述托盘方向的等离子发生部...
该专利属于韩国凡一半导体材料所有，仅供学习研究参考，未经过韩国凡一半导体材料授权不得商用。

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