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根据本公开的一方面的一种用于对电路布局进行半节点缩放的方法包括管芯上的垂直器件。该方法包括减小管芯上的垂直器件的鳍节距和栅极节距。该方法还包括缩放用于定义电路布局的至少一个减小面积的几何图案的波长。...
该专利属于高通股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过高通股份有限公司授权不得商用。

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