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包含Al-Te-Cu-Zr基合金的溅射靶及其制造方法技术
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下载包含Al-Te-Cu-Zr基合金的溅射靶及其制造方法的技术资料
文档序号:15528200
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一种溅射靶,其特征在于,所述溅射靶含有20原子%~40原子%Te,含有5原子%~20原子%Cu,含有5原子%~15原子%Zr,剩余部分包含Al,溅射靶组织由Al相、Cu相、CuTeZr相、CuTe相和Zr相构成。本发明的课题在于提供一种有效...
该专利属于捷客斯金属株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过捷客斯金属株式会社授权不得商用。
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