下载包含Al-Te-Cu-Zr基合金的溅射靶及其制造方法的技术资料

文档序号:15528200

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一种溅射靶,其特征在于,所述溅射靶含有20原子%~40原子%Te,含有5原子%~20原子%Cu,含有5原子%~15原子%Zr,剩余部分包含Al,溅射靶组织由Al相、Cu相、CuTeZr相、CuTe相和Zr相构成。本发明的课题在于提供一种有效...
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