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文档序号:15526657
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在吸附面利用负压空气吸附保持元件(150)并利用正压空气使吸附保持的元件从吸附面脱离的吸嘴(66)中,在元件的保持/脱离时所利用的正压空气和负压空气选择性地在贯通孔(90、94、96)、空气流路(116)等中流动。而且,杆(110)以能够朝...
该专利属于富士机械制造株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士机械制造株式会社授权不得商用。
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