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本发明属于原子层沉积技术领域，公开了一种可变电场调制的远程等离子体原子层沉积系统，包括：腔体；石英管；绝缘陶瓷组件；上电极盘；下电极盘；绝缘垫；加热盘；绝缘导热层；电源；继电器。解决了现有技术中薄膜沉积速率远小于理论预期，原子层沉积所得薄膜...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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