下载一种高硬度TiCrN/TiSiN纳米多层结构涂层及其制备方法的技术资料

文档序号:15520002

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本发明公开了一种高硬度TiCrN/TiSiN纳米多层结构涂层,由多个TiCrN层和TiSiN层构成,TiCrN层和TiSiN层依次交替沉积在基体上,靠近基体的一层为TiCrN层。本发明还提供了上述涂层的制备方法,先将基体表面抛光处理,经超声...
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