专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
西安电子科技大学
>
具备SiO2保护层的频率可重构全息天线的制备方法技术
>技术资料下载
下载具备SiO2保护层的频率可重构全息天线的制备方法的技术资料
文档序号:15512334
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种具备SiO2保护层的频率可重构全息天线的制备方法,所述全息天线包括SOI衬底、第一天线臂、第二天线臂及全息圆环;其中,所述制备方法包括:选取SOI衬底;制备具备SiO2保护层的固态等离子体PiN二极管;所述固态等离子体PiN二...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。