下载具备SiO2保护层的频率可重构全息天线的制备方法的技术资料

文档序号:15512334

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本发明涉及一种具备SiO2保护层的频率可重构全息天线的制备方法,所述全息天线包括SOI衬底、第一天线臂、第二天线臂及全息圆环;其中,所述制备方法包括:选取SOI衬底;制备具备SiO2保护层的固态等离子体PiN二极管;所述固态等离子体PiN二...
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