下载一种高迁移率晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:15510200

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本发明公开了一种高迁移率晶体管及其制备方法,属于功能性电子器件领域。该发明利用高迁移率的双层或三层石墨烯薄膜作为电子输运沟道,其导电特性受到应力和掺杂特性调制,当在栅端加电压调节沟道中的电流,从而实现了HEMT器件的功能。且由于双层或三层石...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。

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