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本发明涉及纳米多孔硅材料的制备领域，提供了一种三维纳米多孔硅的制备方法，包括：将采用氢氟酸清洗后的硅颗粒放入化学刻蚀液中进行化学刻蚀,并在化学刻蚀的过程中施加激波辅助；将经过化学刻蚀后的硅颗粒依次通过稀硝酸和去离子水进行清洗；将清洗后的硅颗...
该专利属于盐城工学院;江苏海州经济开发区管理委员会所有，仅供学习研究参考，未经过盐城工学院;江苏海州经济开发区管理委员会授权不得商用。

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