温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及纳米多孔硅材料的制备领域，提供了一种三维纳米多孔硅的制备装置，包括底座、激波发生器、激波电源、工作液槽、化学刻蚀反应容器以及温度计，激波发生器设置于底座的顶部，工作液槽设置于激波发生器的顶部，化学刻蚀反应容器通过夹持装置设置于工作...
该专利属于盐城工学院;江苏海州经济开发区管理委员会所有，仅供学习研究参考，未经过盐城工学院;江苏海州经济开发区管理委员会授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。