下载压电致动器及其所适用的微型流体控制装置的技术资料

文档序号:15466459

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一种压电致动器,适用于一微型流体控制装置,包含:一悬浮板、一外框、数个支架以及一压电陶瓷板,该悬浮板为正方形型态具有一第一表面及相对应的一第二表面,且该第二表面上具有一凸部,该外框环绕设置于该悬浮板的外侧具有一第一表面及相对应的一第二表面,...
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