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一种基于原位合成法的InP单晶炉用观察窗装置制造方法及图纸
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下载一种基于原位合成法的InP单晶炉用观察窗装置的技术资料
文档序号:15459063
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本实用新型提供一种基于原位合成法的InP单晶炉用观察窗装置,包括贯穿炉体内外的观察通道,观察通道出口处设置有观察窗,还包括进气管道,向观察通道通入惰性气体;一圈小进气孔,沿内层管壁间隔地并与通道轴线垂直地设置,形成一密闭气障,阻碍上升的挥发...
该专利属于珠海鼎泰芯源晶体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海鼎泰芯源晶体有限公司授权不得商用。
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