专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
住友电气工业株式会社
>
碳化硅衬底和用于制造所述碳化硅衬底的方法技术
>技术资料下载
下载碳化硅衬底和用于制造所述碳化硅衬底的方法的技术资料
文档序号:15448422
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种用于制造碳化硅衬底的方法,包括以下步骤:制备具有主表面的碳化硅衬底(S10)、使用含有金属催化剂的抛光剂抛光碳化硅衬底的主表面(S20)、以及在抛光的步骤之后清洗碳化硅衬底(S30)。清洗的步骤包括利用王水清洗所述碳化硅衬底的步骤(S3...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。