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在用于在激光加工工件(2)时测量工件(2)的反射的工件表面(2a)与反射的基准面(2b)之间的间距(A)的装置(3)中，干涉仪(5)具有分束器(6)，该分束器将干涉仪光(7)分到测量臂(9)上作为测量射束(10)并且分到基准臂(11)上作为...该专利属于通快激光与系统工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通快激光与系统工程有限公司授权不得商用。
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在用于在激光加工工件(2)时测量工件(2)的反射的工件表面(2a)与反射的基准面(2b)之间的间距(A)的装置(3)中，干涉仪(5)具有分束器(6)，该分束器将干涉仪光(7)分到测量臂(9)上作为测量射束(10)并且分到基准臂(11)上作为...