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激光钻孔对准度的监控方法技术
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文档序号:15442903
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激光钻孔对准度的监控方法,包括以下步骤:(1)根据激光钻孔Target Pad Ring大小计算对准度监控大小,计算公式:对准度监控=(Target Pad Ring‑Target层补偿)/0.5;(2)测试方法:计算出激光钻孔对准度监控值...
该专利属于奥士康科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过奥士康科技股份有限公司授权不得商用。
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