下载一种高压LED芯片制备方法的技术资料

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本发明提供一种高压LED芯片制备方法,包括以下步骤:(1)选用蓝宝石衬底生长GaN外延,在完成Mesa刻蚀、氮化镓深刻蚀(ISO)之后沉积P‑SiO...
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