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无机薄膜晶体管、制备方法及RFID标签技术
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文档序号:15439676
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本发明一种无机薄膜晶体管、制备方法及RFID标签。无机薄膜晶体管包括柔性基底、源极、漏极以及依次形成在源极和漏极上方的有源层、栅介质层和栅电极。源极和漏极分别形成在柔性基底上,源极和漏极均由第一柔性导电薄膜制成,第一柔性导电薄膜的厚度大于或...
该专利属于杭州潮盛科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州潮盛科技有限公司授权不得商用。
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