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本发明公开了一种电子源产生装置，其特征在于，所述装置包括：电子枪、电极、光阑组和电磁透镜；其中，所述电子枪，用于发射电子束；所述电极，用于对所述电子束进行加速；所述光阑组包括一个移动装置和多个不同孔径的光阑，通过调节所述移动装置控制加速后的...
该专利属于聚束科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过聚束科技（北京）有限公司授权不得商用。

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