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本发明涉及涂胶显影设备，具体地说是一种并行式涂胶显影设备。包括隔板及依次连接的片盒站、涂胶工艺站、显影工艺站和接口站，其中隔板依次穿过涂胶工艺站、显影工艺站及接口站，将所述涂胶工艺站、显影工艺站及接口站均分成两部分，所述隔板的两侧分别为可独...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

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